晶圆行业的废气处理方法

矽行业在生产的反复中的，亦会产生大量的水和以及有毒污染物，特别是VOCs气态，如如此一来排放VOCs气态，对大气层则亦会导致比较严重影响的侵害，所以今天小编将与大家分享一份关于：矽产业的滤网妥善处理。

目前在低价上，产业滤网妥善处理主要引入的是推倒或者是导电的方式，还有一种少见的热氧化通则，但是由于滤网中的的水和亦会被氧化掉，所以只有在大流量、低酸度的气态的情况应用于该方式。

导电通则：

锶导电通则是来进行锶表面上的多孔，去导电有机滤网中的的污染物或者是重复使用物质，其导电剂游离高，而且净化速度快，锶再导电后需作其亦会妥善处理。

优势：锶导电电子元件构件单纯，可用电子化操作，引入锶作为导电剂，其接入成本低，而且对于滤网中的热力的清晰度不高。

推倒通则：

推倒通则的管理工作原理是将滤网中的的水和经过热氧化转化成为水蒸气和水，一般妥善处理的是酸度和风量比较安定的滤网。

有机滤网妥善处理方式一般亦会应用于如此一来燃烧通则、催化燃烧通则、锶导电通则、冷凝通则等，很多时候亦会引入燃烧通则和导电通则相相辅相成。

对于矽行业这种大风量、滤网成分复杂而且酸度低的有机滤网妥善处理比较适合燃烧通则和导电通则相相辅相成的方式。