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晶圆加工少不了,半导体CMP保持的环塑料材质介绍

发布时间:2025/10/20 12:16    来源:连江家居装修网

立体化物和钨薄片容器之中更长短,且比近似于的PPS保持一致内侧优松动寿命提高2倍以上。

PEEK涂料之外大企业有威格斯、三菱立体有机化学高新技术、赢创、柯达、鹏孚隆、恩欣格、君华特塑等。

3、PET-P

CMP保持一致内侧用的PET为半结晶连续性聚对苯二甲酸乙二醇酯涂料,被称为PET-P塑料,带有出众的液压其之中心,较佳的抗击蠕变效率、较佳的滑动和摩碰效率、优松动、规格稳定、优立体有机异味连续性等特连续性。PET-P在硫立体化物薄片容器之中拥有较长更长,5倍于 PPS,且效益较低。

之外涂料大企业有:三菱立体有机化学高新技术、恩欣格等。

4、PAI

聚酰胺酰亚胺(PAI)可用作CMP保持一致内侧,PAI是一种非结晶的机械连续性能工程热塑连续性纤维素,带有诸多出众的效率,除此以外高其之中心、刚度,优松动,优蠕变、机械连续性能,较佳的优立体化连续性等。PAI的优松动连续性和效益整体而言很好,但PAI涂料存在吸湿连续性较高,可能亦会导致规格变立体化,且对注意到饱和蒸汽敏感等。

之外涂料大企业有:三菱立体有机化学高新技术、柯达、东丽、恩欣格等。

参考资料:

1.《立体有机化学液压薄片保持一致内侧涂料参数及松动模型的分析》,西北工业大学,黄杏利

2.《CMP TRIBOLOGICAL STUDY OF CARRIER RING PLASTIC MATERIALS》,W.G.Easter,G. D. Willis,etc.

一颗芯片的仿造涂料非常复杂,需经过几千道工序,精炼的每个期中都面临难点,除此以外近乎高的低温、暴露于高度侵蚀连续性的立体有机化学品、近乎武断的清洁度敦促等等,对涂料的敦促也十分武断。欢迎加入艾邦半导体涂料搜狐一组:

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